氣浮導(dǎo)軌（Air Bearing Guide），也被稱(chēng)為空氣軸承導(dǎo)軌，是一種利用壓縮空氣在導(dǎo)軌與移動(dòng)部件之間形成一層薄空氣膜，從而實(shí)現(xiàn)無(wú)接觸支撐和導(dǎo)向的技術(shù)。這種技術(shù)能夠顯著減少運(yùn)動(dòng)部件之間的摩擦力，提供很高的定位精度和平滑的運(yùn)動(dòng)特性，廣泛應(yīng)用于高精度機(jī)床、光學(xué)設(shè)備、半導(dǎo)體制造設(shè)備等領(lǐng)域。

　　工作原理

　　氣浮導(dǎo)軌通過(guò)向?qū)к壉砻婊蚧瑝K內(nèi)的小孔、槽注入經(jīng)過(guò)過(guò)濾的壓縮空氣，在導(dǎo)軌與移動(dòng)部件之間形成一層穩(wěn)定的空氣膜。這層空氣膜起到了緩沖作用，使移動(dòng)部件懸浮于導(dǎo)軌之上，幾乎消除了兩者之間的直接接觸，因此極大地降低了摩擦系數(shù)和磨損率，同時(shí)也減少了由于摩擦產(chǎn)生的熱量和振動(dòng)。

　　主要特點(diǎn)

　　高精度：由于幾乎沒(méi)有機(jī)械接觸，氣浮導(dǎo)軌可以達(dá)到亞微米級(jí)別的定位精度。

　　低摩擦：依靠空氣膜進(jìn)行支撐，摩擦力極低，有利于實(shí)現(xiàn)精密控制和高效能操作。

　　長(zhǎng)壽命：缺乏物理接觸意味著幾乎沒(méi)有磨損，從而延長(zhǎng)了系統(tǒng)的使用壽命。

　　平穩(wěn)性好：減少了傳統(tǒng)導(dǎo)軌系統(tǒng)中可能出現(xiàn)的爬行現(xiàn)象，提供了更加平滑的運(yùn)動(dòng)性能。

　　自清潔功能：流動(dòng)的空氣有助于清除微小顆粒，保持工作環(huán)境的清潔度。

　　應(yīng)用領(lǐng)域

　　精密加工：如超精密車(chē)床、磨床等，用于提高工件加工的尺寸精度和表面質(zhì)量。

　　光學(xué)檢測(cè)：適用于需要高穩(wěn)定性平臺(tái)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器，比如三坐標(biāo)測(cè)量機(jī)（CMM）。

　　半導(dǎo)體制造：在晶圓制造過(guò)程中，對(duì)于需要很高精度的操作，如光刻機(jī)中的晶圓定位系統(tǒng)。

　　科研實(shí)驗(yàn)：支持各種要求苛刻的科學(xué)實(shí)驗(yàn)，特別是在物理學(xué)、天文學(xué)等領(lǐng)域中對(duì)穩(wěn)定性和精確度有嚴(yán)格要求的場(chǎng)合。

　　使用氣浮導(dǎo)軌時(shí)，需注意供氣系統(tǒng)的清潔度和穩(wěn)定性，確保進(jìn)入導(dǎo)軌的壓縮空氣質(zhì)量良好，并且壓力恒定，以保證最佳的工作狀態(tài)。此外，雖然氣浮導(dǎo)軌具有許多優(yōu)點(diǎn)，但其成本相對(duì)較高，維護(hù)也需要一定的專(zhuān)業(yè)知識(shí)。